作為國內(nèi)存儲(chǔ)器制造領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，長鑫存儲(chǔ)在芯片生產(chǎn)環(huán)節(jié)面臨著嚴(yán)苛的環(huán)境挑戰(zhàn)。

在芯片生產(chǎn)過程中，光刻、蝕刻、摻雜等核心工藝需要使用大量化學(xué)試劑與超純水。這些液體一旦發(fā)生泄漏，不僅會(huì)侵蝕芯片制造設(shè)備的精密部件，致使設(shè)備故障頻發(fā)、縮短使用壽命，更會(huì)對芯片生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度和溫濕度穩(wěn)定性造成嚴(yán)重破壞，直接影響芯片的良品率，帶來高昂的經(jīng)濟(jì)損失。

長江存儲(chǔ)作為全球領(lǐng)先的3D NAND閃存IDM 企業(yè)，武漢總部生產(chǎn)規(guī)模龐大

在廈門天馬顯示科技面板生產(chǎn)廠房內(nèi)，面板生產(chǎn)工藝制程中的化學(xué)品管道、水管道縱橫交織。這些設(shè)施承載著光刻膠、蝕刻液等多種高價(jià)值危化品，以及冷凝水、工業(yè)用水等液體介質(zhì)。一旦發(fā)生泄漏，不僅會(huì)造成資源浪費(fèi)、大幅增加生產(chǎn)成本，泄漏的危化品還可能腐蝕設(shè)備、影響機(jī)臺(tái)精度，甚至引發(fā)火災(zāi)、爆炸等重大安全事故，嚴(yán)重威脅生產(chǎn)安全與穩(wěn)定。

京東方作為全球半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)領(lǐng)軍者，其潔凈室是顯示面板制造的核心場所。然而，潔凈室內(nèi)化學(xué)品輸送、設(shè)備冷卻等管道密布，一旦發(fā)生漏液，不僅會(huì)腐蝕設(shè)備、引發(fā)電氣故障，造成高額損失與生產(chǎn)停滯，還會(huì)破壞潔凈環(huán)境、干擾生產(chǎn)秩序。鑒于潔凈室空間復(fù)雜、管道隱蔽，人工巡檢難以全面覆蓋，部署先進(jìn)精準(zhǔn)的漏液監(jiān)測系統(tǒng)，成為保障安全生產(chǎn)、提升運(yùn)營效率的關(guān)鍵舉措。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)白熱化競爭中，生產(chǎn)環(huán)境可靠性是企業(yè)立足的核心競爭力。廣州天域半導(dǎo)體作為國內(nèi)第三代半導(dǎo)體碳化硅外延片研發(fā)生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)，其清洗間、拋光區(qū)、CMP 區(qū)及設(shè)備區(qū)等核心區(qū)域，長期受液體泄漏威脅。這些液體的滲漏不僅侵蝕精密設(shè)備、干擾生產(chǎn)工藝，更易觸發(fā)安全事故，致使產(chǎn)線停擺、產(chǎn)品良率驟降，造成巨大經(jīng)濟(jì)損失，亟需可靠監(jiān)測手段保障生產(chǎn)安全。