系統概述：

1.漏液檢測系統定義

漏液檢測系統是一種專門用于半導體生產環境的自動化設備，通過24小時不間斷的監測和分析，確保生產過程的穩定性和質量。

2.漏液檢測系統的重要性

漏液檢測系統在半導體制造行業中扮演著至關重要的角色。確保生產的安全性和連續性，及時發現和處理液體泄漏，減少環境污染。

3.漏液檢測系統在行業中的應用

漏液檢測系統廣泛應用于半導體制造（設備）、集成電路封裝、電子元器件生產等環節，是保證生產安全防控的關鍵設備。

4.系統組成要素：

漏液檢測系統主要由傳感器、控制器和報警裝置三大核心部件構成，共同完成對半導體生產過程的實時監控。

5.工作原理詳解：

系統通過傳感器實時在線檢測，由控制器采集數據進行分析判斷，一旦發現異常情況，就會立即啟動報警裝置。

系統拓撲圖

應用場景：

儲酸堿罐體：生產原料存放點泄漏造成安全事故；

酸堿運輸管道：生產不能正常運行、事故隱患；

高架地板下：光刻設備間、刻蝕、IC生產車間、供水管路；

半導體設備：CVD沉積、清洗機、光刻機、空調機組、劃片機、檢測機等