系統(tǒng)概述：

1.漏液檢測系統(tǒng)定義

漏液檢測系統(tǒng)是一種專門用于半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境的自動化設(shè)備，通過24小時不間斷的監(jiān)測和分析，確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和質(zhì)量。

2.漏液檢測系統(tǒng)的重要性

漏液檢測系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造行業(yè)中扮演著至關(guān)重要的角色。確保生產(chǎn)的安全性和連續(xù)性，及時發(fā)現(xiàn)和處理液體泄漏，減少環(huán)境污染。

3.漏液檢測系統(tǒng)在行業(yè)中的應(yīng)用

漏液檢測系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造（設(shè)備）、集成電路封裝、電子元器件生產(chǎn)等環(huán)節(jié)，是保證生產(chǎn)安全防控的關(guān)鍵設(shè)備。

4.系統(tǒng)組成要素：

漏液檢測系統(tǒng)主要由傳感器、控制器和報警裝置三大核心部件構(gòu)成，共同完成對半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的實時監(jiān)控。

5.工作原理詳解：

系統(tǒng)通過傳感器實時在線檢測，由控制器采集數(shù)據(jù)進行分析判斷，一旦發(fā)現(xiàn)異常情況，就會立即啟動報警裝置。

系統(tǒng)拓撲圖

應(yīng)用場景：

儲酸堿罐體：生產(chǎn)原料存放點泄漏造成安全事故；

酸堿運輸管道：生產(chǎn)不能正常運行、事故隱患；

高架地板下：光刻設(shè)備間、刻蝕、IC生產(chǎn)車間、供水管路；

半導(dǎo)體設(shè)備：CVD沉積、清洗機、光刻機、空調(diào)機組、劃片機、檢測機等